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传统过孔数显著增加 条状过孔成大势所趋

来源:    作者:    发布时间:2016-04-11 07:33:51    浏览量:

  随着过孔数量的增多,确保在 布局布线过程中正确放置和选择过孔所需的规则的数量和复杂性也显著增加。过孔插入的复杂性迅速提高主要有四个原因:

  在小的节点设计中,连线更具挑战性,不仅需要新的配置,(这些配置大节点设计不太常用),而且还要考虑先前大节点中并不重要的因素。例如,在 20纳米节点上,过孔的选择需要同时评估金属末端-1和+1。绕线不再是仅仅优化过孔,而是同时考虑上下方的金属以及过孔连接金属的方向。

  更多过孔类型增加了绕线可使用的过孔选择。需要更多绕线规则来定义某种特定过孔何时使用以及如何使用。

  代工厂定义过孔优先次序——每家代工厂拥有选择特定过孔类型的专有规则。尽管绕线规则允在多种过孔类型之间选择,但是代工厂优先规则会根据几何、环境特征、过孔包住以及许多其它变量掌控这些类型的顺序。此外,这些优先次序可能在过程节点的发展中迅速变化,需要不断更新绕线规则。

  双重成像(double patterning)——双图案分解要求会影响过孔的放置位置和方向,并且必须在布局和布线阶段加以考虑。

  但为何这些都成为问题呢?难道绕线工具没有绕线规则来告诉该如何以及在哪里放置布局元素吗?

  在数字领域,详细的绕线规则经常都是对设计规则的简化近似,以便可以被编码为库交换格式 (Library Exchange Format, LEF) 规格或绕线工具的技术文件(tech file)。绕线工具通常使用这些简化的 DRC 和 DFM 规则来实现绕线过程中运行时间与准确性的最佳平衡。一旦绕线完成,GDSII 版图就使用签核质量的 DRC/DFM 规则文件和标准验证规则格式 (SVRF) 的规则平台来验证。对于先前的节点,这就能起到充分的作用,因为签核确认时发现的违规数量相对而言还是较低的。

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