ARM7加速度数据采集系统设计
来源： 作者： 发布时间：2016-01-21 06:59:45 浏览量：
2 Model 1221单轴MEMS加速度计简介
2.1 主要特点
Model 1221单轴MEMS(Micro Electro MechanicalSysteros)加速度计就是使用MEMS技术制造的加速度计。由于采用了微机电系统技术，使得其尺寸大大缩小，一个MEMS加速度计只有指甲盖的几分之一大小。MEMS加速度计具有体积小、重量轻、功耗低等优点。它可以测量振动类型的动态加速度和重力类型的静态加速度，测量范围是±2g;采用5 V单电源供电，集成在单片集成电路上，具有分辨率高、捕获时间短、带宽宽等特点;工作温度范围为-55～85℃，适合工作在恶劣环境下。
2.2 工作原理
技术成熟的MEMS加速度计分为3种：
①压电式MEMS加速度计。运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。
②容感式MEMS加速度计。内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动，从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。
③热感式MEMS加速度计。内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面是密闭的气腔。工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。
由于压电式MEMS加速度计内部有刚体支撑的存在，通常情况下，压电式MEMS加速度计只能感应到“动态”加速度，而不能感应到“静态”加速度，也就是我们所说的重力加速度。而容感式和热感式既能感应“动态”加速度，又能感应“静态”加速度。
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