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三轴加速度传感器原理及应用

来源:    作者:    发布时间:2015-04-02 13:24:52    浏览量:
大功率电感贴片电感器主要针对高灵敏度、高探测范围的加速度传感器和陀螺仪等MEMS元器件的生产加工。其通过运用深度蚀刻技术及牺牲层(Sacrificial-Layer)等理论,可在微型装置中加工出能实现各种动作的精密机械机构。Thelma制程技术主要包含六个主要步骤:基底热氧化、水平互连的沉积与表面图样化(Patterning)、牺牲层的沉积与表面图样化、结构层的磊晶生长、用通道蚀刻将结构层图样化、以及牺牲层的氧化物去除,与接触金属化沉积。多晶硅材料具有良好的耐疲绕行电感劳性及抗冲击性,且采用CMOS制程除了能带来较低的成本、更稳定的加工流程,芯片与传感器的功能相独立还保证了设计上的灵活性。独特的Thelma技术还可提供完整的铸模封装,使生产出的元器件具有极可靠的物理性质,能制造出最佳的制止器(Stopper),降低电极之间的静电摩擦等风险。与传统工艺相比较,Thelma技术可以减少芯片面积,因而克服体型微加工过程中常见的设计局限。此外,其会生长出一块厚度约15微米(um)的多晶硅磊晶层。该硅结构在增加厚度的同时也增加了垂直表面积,因而增大平行于基底的静电启动器的总电容值。 功大电流电感率塑封电感器扁平型电感电感http://www.szfpc.net/电感厂家器

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胆电解电容:拥有普通电解电容的特性,漏电流极小

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